申请/专利权人：楚赟精工科技(上海)有限公司

申请日：2024-02-04

公开（公告）日：2024-03-12

公开（公告）号：CN117684262A

主分类号：C30B25/14

分类号：C30B25/14;C30B25/10

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.29#实质审查的生效;2024.03.12#公开

摘要：本发明提供一种气体注入装置和气相反应设备，气体注入装置凸出部自所述盖体顶面一侧起贯穿所述盖体并远离所述盖体延伸，辅助气体输送通道自所述凸出部顶面起在所述凸出部内延伸并贯穿所述凸出部底面，辅助加热装置围设于所述凸出部的外侧壁并位于所述盖体底面所在的一侧；若干工艺气体输送通道，围绕所述凸出部顶部设于所述盖体，并贯穿所述盖体，使得辅助加热装置能够在反应腔体内由所述盖体、所述凸出部、所述承载装置和所述反应腔体侧壁围成的反应空间起到辅助加热作用，有利于大尺寸反应腔体内反应空间的温场均匀性。

主权项：1.一种气体注入装置，其特征在于，包括：盖体；凸出部，位于所述盖体的中间区域，自所述盖体顶面一侧起贯穿所述盖体，并远离所述盖体底面一侧延伸；辅助气体输送通道，自所述凸出部顶面一侧沿指向所述凸出部底面一侧的方向在所述凸出部内延伸，并贯穿所述凸出部底面；辅助加热装置，围设于所述凸出部的外侧壁，位于所述盖体底面所在的一侧；若干工艺气体输送通道，围绕所述凸出部顶部设于所述盖体，并贯穿所述盖体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 楚赟精工科技(上海)有限公司 气体注入装置和气相反应设备

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