申请/专利权人：株式会社迪思科

申请日：2020-01-21

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN111497047B

主分类号：B28D5/02

分类号：B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00;H01L21/304

优先权：["20190130 JP 2019-014695"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.15#授权;2022.01.18#实质审查的生效;2020.08.07#公开

摘要：提供切削装置的原点位置登记方法，即使卡盘工作台的保持面的高度存在偏差，也能够实现对于被加工物的高精度的切入深度。切削装置的原点位置登记方法具有如下的步骤：片保持步骤ST1，将规定的厚度的划片带保持于卡盘工作台的保持面上；切削痕形成步骤ST2，按照卡盘工作台的多个XY坐标使切削单元相对于划片带的正面沿Z轴方向升降规定的量，利用切削刀具形成未将划片带完全切断的深度的切削痕；以及原点位置登记步骤ST3，利用相机单元对与XY坐标对应的多个该切削痕的长度进行检测，根据切削痕的长度和切削刀具的外径而计算切削痕的切入深度，根据切入深度和划片带的厚度而与XY坐标对应地计算原点位置并进行存储。

主权项：1.一种切削装置的原点位置登记方法，所使用的切削装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；切削单元，其在主轴上安装有切削刀具，对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削；X轴移动单元，其使该卡盘工作台和该切削单元在与该保持面平行的X轴方向上相对地移动；Y轴移动单元，其使该卡盘工作台和该切削单元在与该保持面平行且与该X轴方向垂直的Y轴方向上相对地移动；Z轴移动单元，其使该卡盘工作台和该切削单元在与该保持面垂直的Z轴方向上相对地移动；相机单元，其对该保持面上所保持的被加工物进行拍摄；原点位置登记部，其将该保持面与该切削刀具的前端接触时的切削单元的该Z轴方向的高度设为原点位置，对该保持面的与XY坐标对应的各个该原点位置进行登记；以及校正部，其基于该原点位置登记部所登记的信息，根据XY坐标而对该切削单元的该Z轴方向的高度进行校正，其中，该切削装置的原点位置登记方法具有如下的步骤：片保持步骤，将规定的厚度的片保持于该卡盘工作台的保持面上；切削痕形成步骤，按照该卡盘工作台的多个XY坐标使该切削单元相对于该片的正面沿该Z轴方向升降规定的量，利用该切削刀具形成未将该片完全切断的深度的切削痕；以及原点位置登记步骤，利用该相机单元对与XY坐标对应的多个该切削痕的长度进行检测，根据该切削痕的长度和该切削刀具的外径而计算该切削痕的切入深度，根据该切入深度和该片的厚度而与该XY坐标对应地计算该原点位置并进行存储，在该原点位置登记步骤中，当判定为位于最上方的原点位置与位于最下方的原点位置之差超过预先设定的允许值时，向操作者通知该卡盘工作台的该保持面的精度不适合该被加工物的切削加工，当判定为位于最上方的原点位置与位于最下方的原点位置之差为预先设定的允许值以下时，将原点位置与XY坐标对应而生成该信息，并将所生成的该信息登记在该原点位置登记部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社迪思科 切削装置的原点位置登记方法

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