申请/专利权人：上海传芯半导体有限公司

申请日：2023-11-29

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117727657A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/683

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明提供一种膜框去除装置及方法，该装置包括：载台、夹具和支撑架，载台用于承载并固定基板，夹具位于载台上方，夹具和载台中的至少一个被配置为能够沿竖直方向运动，夹具包括连接杆、第一夹紧杆、第二夹紧杆、第一持握杆、第二持握杆和弹簧，连接杆的一端连接于支撑架，连接杆的另一端与第一夹紧杆和第二夹紧杆相互铰接，第一持握杆与第一夹紧杆连接，第二持握杆与第二夹紧杆连接，弹簧位于第一持握杆和第二持握杆之间，第一夹紧杆和第二夹紧杆上均设置有能够插入膜框上的定位孔内的插针，且插针上设置有加热片。上述的膜框去除装置能够节省光刻工艺生产成本及光掩膜再生成本，并且能够有效提高光掩膜再生良率。

主权项：1.一种膜框去除装置，其特征在于，包括：载台、夹具和支撑架，所述载台用于承载并固定基板，所述夹具位于所述载台上方，所述夹具和所述载台中的至少一个被配置为能够沿竖直方向运动，所述夹具包括连接杆、第一夹紧杆、第二夹紧杆、第一持握杆、第二持握杆和弹簧，所述连接杆的一端连接于所述支撑架，所述连接杆的另一端与所述第一夹紧杆和所述第二夹紧杆相互铰接，所述第一持握杆与所述第一夹紧杆连接，所述第二持握杆与所述第二夹紧杆连接，所述弹簧位于所述第一持握杆和所述第二持握杆之间，所述第一夹紧杆和所述第二夹紧杆上均设置有能够插入膜框上的定位孔内的插针，且所述插针上设置有加热片。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海传芯半导体有限公司 膜框去除装置及方法

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