申请/专利权人：深圳米飞泰克科技股份有限公司

申请日：2023-11-22

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117723930A

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本申请提供了一种CIS晶圆测试系统及方法。所述方法包括：探针台、设置探针台上的探针卡、测试机和光源装置，光源装置设置于探针台上，光源装置分别与测试机和探针台电连接，测试机与探针台电连接；测试机，用于针对CIS晶圆的每个芯片，在芯片的预设光照时长内，控制光源装置发出芯片所需光强度的光信号，光信号通过探针卡作用于芯片上；光源装置，还用于在光信号通过探针卡作用于芯片上后，采集光信号的光参数，并根据光参数判断光信号的有效性，获得判断结果，并向探针台发送判断结果；探针台，用于接收来自光源装置的判断结果后，若判断结果为有效，则执行测试操作。本申请能够提供稳定的，满足不同场景需求的光源。

主权项：1.一种CIS晶圆测试系统，其特征在于，包括：探针台、设置于所述探针台上的探针卡、测试机和光源装置，所述光源装置设置于所述探针台上，所述光源装置分别与所述测试机和所述探针台电连接，所述测试机与所述探针台电连接；所述测试机，用于针对CIS晶圆的每个芯片，在所述芯片的预设光照时长内，控制所述光源装置发出所述芯片所需光强度的光信号，所述光信号通过所述探针卡作用于所述芯片上；所述光源装置，还用于在光信号通过所述探针卡作用于所述芯片上后，采集所述光信号的光参数，并根据所述光参数判断所述光信号的有效性，获得判断结果，向所述探针台发送所述判断结果；所述探针台，用于接收来自所述光源装置的所述判断结果后，若所述判断结果为有效，则执行测试操作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳米飞泰克科技股份有限公司 一种CIS晶圆测试系统及方法

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