申请/专利权人：信利(仁寿)高端显示科技有限公司

申请日：2023-12-01

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117727647A

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;G09G3/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种基于特性曲线的TFT信赖性测试方法，包括步骤：获取采用相同工艺参数所制备的TFT晶体管在不同波段光线下的特性曲线，并根据各特性曲线之间的差异，以确定导致所述TFT晶体管特性漂移的目标波段光线；获取采用不同工艺参数所制备的TFT晶体管在所述目标波段光线下的特性曲线，并根据各特性曲线之间的差异，以确定能够改善所述TFT晶体管特性漂移的目标工艺参数。该TFT信赖性测试方法，可以确定导致所述TFT晶体管特性漂移的目标波段光线以及能够改善所述TFT晶体管特性漂移的目标工艺参数。

主权项：1.一种基于特性曲线的TFT信赖性测试方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤100：获取采用相同工艺参数所制备的TFT晶体管在不同波段光线下的特性曲线，并根据各特性曲线之间的差异，以确定导致所述TFT晶体管特性漂移的目标波段光线；步骤200：获取采用不同工艺参数所制备的TFT晶体管在所述目标波段光线下的特性曲线，并根据各特性曲线之间的差异，以确定能够改善所述TFT晶体管特性漂移的目标工艺参数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 信利(仁寿)高端显示科技有限公司 一种基于特性曲线的TFT信赖性测试方法

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