申请/专利权人：深圳综合粒子设施研究院

申请日：2023-12-05

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117729683A

主分类号：H05H7/18

分类号：H05H7/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本申请涉及超导射频加速器领域，提供一种用于超导腔中温烘烤的装置，以解决现有在超导腔中温烘烤过程中，超导腔的内表面容易在向高真空烘烤炉内充气过程中以及转运过程中受到高真空炉内和空气中的微粒物污染的问题。包括超导腔本体、控温组件和测温组件，第一真空泵组和第二真空泵组，所述超导腔本体具有内腔，所述装置还包括：真空罩体，其具有密封腔，所述超导腔本体设置于所述密封腔内；加长过渡管，其一端穿入所述真空罩体的密封腔内，并与所述超导腔本体连接；第一控制阀，其与所述加长过渡管的另一端连接；第二控制阀，其一端设置于所述真空罩体上，并与所述密封腔连通；所述控温组件和测温组件均设置于所述超导腔本体上。

主权项：1.一种用于超导腔中温烘烤的装置，包括超导腔本体、控温组件和测温组件，第一真空泵组和第二真空泵组，所述超导腔本体具有内腔，其特征在于，所述装置还包括：真空罩体，其具有密封腔，所述超导腔本体设置于所述密封腔内；加长过渡管，其一端穿入所述真空罩体的密封腔内，并与所述超导腔本体连接；第一控制阀，其与所述加长过渡管的另一端连接；第二控制阀，其一端设置于所述真空罩体上，并与所述密封腔连通；所述控温组件和所述测温组件均设置于所述超导腔本体上，所述控温组件用于控制所述超导腔本体的温度，所述测温组件用于测量所述超导腔本体的温度；所述第一真空泵组与所述第一控制阀连接，并用于对所述内腔抽真空；所述第二真空泵组与所述第二控制阀连接，并用于对所述密封腔抽真空和充高纯气体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳综合粒子设施研究院 一种用于超导腔中温烘烤的装置

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