申请/专利权人：东北林业大学

申请日：2023-03-20

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN116481435B

主分类号：G01B11/02

分类号：G01B11/02;G01B11/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2023.08.11#实质审查的生效;2023.07.25#公开

摘要：本发明公开了一种紧凑型六自由度测量系统，所述测量系统包括测量光源、准直透镜、半透半反镜A、半透半反镜B、半透半反镜C、反射镜A、反射镜B、反射镜C、反射镜D、偏振分光镜A、偏振分光镜F、第一光学系统、第二光学系统、第三光学系统、第四光学系统、第五光学系统以及粘贴在被测物体表面的二维光栅专用靶标。本发明通过第一光学系统测量绕X轴以及Y轴的转动角度RX和RY，第二光学系统测绕Z轴的转动角度RZ，第三光学系统测沿着Z轴的位移变化，第四光学系统测测沿着Y轴的位移变化，第五光学系统测测沿着X轴的位移变化，本发明可以同时进行被测物体六自由度的角度及位移变化的测量，测量效率有了极大的提高。

主权项：1.一种紧凑型六自由度测量系统，其特征在于所述测量系统包括测量光源、准直透镜、半透半反镜A、半透半反镜B、半透半反镜C、反射镜A、反射镜B、反射镜C、反射镜D、偏振分光镜A、偏振分光镜F、第一光学系统、第二光学系统、第三光学系统、第四光学系统、第五光学系统以及粘贴在被测物体表面的二维光栅专用靶标，其中：所述测量光源发出照射光，照射光经过准直透镜后变为平行光，平行光通过半透半反镜A照射在粘贴在被测物体表面的二维光栅专用靶标产生0级衍射光、+1，0级衍射光、-1，0级衍射光、0，+1级衍射光、0，-1级衍射光；所述0级衍射光通过半透半反镜A反射到第一光学系统，第一光学系统通过接收0级衍射光进而测量二维光栅专用靶标绕X轴的转动角度RX以及Y轴的转动角度RY；所述0，+1级衍射光通过半透半反镜B反射到第二光学系统，第二光学系统通过接收0，+1级衍射光进而测量二维光栅专用靶标绕Z轴的转动角度RZ；所述0，-1级衍射光通过半透半反镜C反射到第三光学系统，第三光学系统通过接收0，-1级衍射光进而测量二维光栅专用靶标沿Z轴的位移变化量；所述0，+1级衍射光通过半透半反镜B透射、反射镜A反射照射在偏振分光镜A上，0，-1级衍射光通过半透半反镜C透射、反射镜B反射照射在偏振分光镜A上，0，+1级衍射光和0，-1级衍射光通过偏振分光镜A汇聚到第四光学系统，第四光学系统接收0，±1级衍射光，通过光栅干涉进一步测量被测物体沿Y轴的位移变化量；所述+1，0级衍射光通过反射镜C反射照射在偏振分光镜F上，-1，0级衍射光通过反射镜D反射照射在偏振分光镜F上，+1，0级衍射光和-1，0级衍射光通过偏振分光镜F汇聚到第五光学系统，第五光学系统接收±1，0级衍射光，通过光栅干涉进一步测量被测物体沿X轴的位移变化量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东北林业大学 一种紧凑型六自由度测量系统

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