申请/专利权人：国际商业机器公司

申请日：2018-09-25

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN111133380B

主分类号：G03F7/00

分类号：G03F7/00

优先权：["20170929 US 15/719,608"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2020.06.02#实质审查的生效;2020.05.08#公开

摘要：本发明的实施方案提供了用于捕获胺的体系和方法。这又减轻了光致抗蚀剂中的不期望的浮渣和底脚效应。聚合物刷接枝到氮化硅表面上。所述聚合物刷的官能团和分子量分别提供质子和施加空间位阻以捕获从氮化硅表面扩散的胺。

主权项：1.一种用于捕获胺的方法，其包括：将多个聚合物刷溶解在浇铸溶剂中，其中，所述聚合物刷包含第一构成单元和第二构成单元；将所述多个聚合物刷的溶液涂覆到氮化硅表面上；使所述多个聚合物刷结合到氮化硅表面以形成聚合物刷层；将光致抗蚀剂溶解在浇铸溶剂中；将所述光致抗蚀剂的溶液涂覆到所述聚合物刷层上；以及使所述光致抗蚀剂结合到所述聚合物刷层，其中所述聚合物刷包含具有以下化学式的聚合物：HX-LAm-LBn-Y其中所述第一构成单元包含m个单元的含有酸性官能团A的LA结构单元，并且存在n个单元的含有包含烷基、苯基或烷基酯基团的官能团B的LB结构单元；-XH基团中的-X-基团结合到氮化硅上，和Y促进与所述光致抗蚀剂的混溶性和结合；其中n为零，且所述聚合物刷为均聚物。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 国际商业机器公司 在氮化硅上的光致抗蚀剂图案化

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