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【发明授权】光电阴极及其制备方法_中国科学院空天信息创新研究院_202110293335.7 

申请/专利权人:中国科学院空天信息创新研究院

申请日:2021-03-18

公开(公告)日:2024-03-19

公开(公告)号:CN113053704B

主分类号:H01J1/34

分类号:H01J1/34;H01J9/12;B82Y30/00;B82Y40/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.19#授权;2021.07.16#实质审查的生效;2021.06.29#公开

摘要:一种光电阴极及其制备方法,该光电阴极包括:光电阴极基体,为金属纳米颗粒与锑粉混合压制而成;以及碱金属锑化物膜,形成于所述光电阴极基体的一表面。本发明还提供了该光电阴极的制备方法。本发明的光电阴极基体中的金属纳米颗粒具有很强的吸附作用,因此可以减少碱金属光电阴极中碱金属的蒸发,同时本发明的光电阴极制备方法工艺简单,制备方便。

主权项:1.一种光电阴极的制备方法,包括:将金属纳米颗粒与锑粉末混合物压制成光电阴极基体,所述金属纳米颗粒的直径为10nm-100nm;加热光电阴极基体,使所述光电阴极基体中的锑蒸发并扩散到光电阴极基体的表面形成锑膜;将碱金属蒸汽射向所述光电阴极基体,与所述锑膜反应形成碱金属锑化物膜,所述碱金属锑化物膜的厚度为10nm-100nm,所形成的碱金属锑化物膜和光电阴极基体即为光电阴极;其中,所述将碱金属蒸汽射向所述光电阴极基体,与所述锑膜反应形成碱金属锑化物膜具体包括:将所述碱金属锑化物膜作为阴极,外加阳极,用白光照射阴极,并调节碱金属蒸汽流速,当所述阴极产生的光电流到达峰值时,完成所述光电阴极的制备;其中,所述碱金属蒸汽与锑膜反应的温度为120~180℃;利用加热体对所述光电阴极基体加热;所述加热体的材料包括钨、钼或钨铼;所述光电阴极在真空条件下制备,真空度在10-6Pa量级。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院空天信息创新研究院 光电阴极及其制备方法

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