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【发明授权】窄带化模块、气体激光装置和电子器件的制造方法_极光先进雷射株式会社_201980088615.5 

申请/专利权人:极光先进雷射株式会社

申请日:2019-02-26

公开(公告)日:2024-03-19

公开(公告)号:CN113287236B

主分类号:H01S3/137

分类号:H01S3/137

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.19#授权;2022.01.25#实质审查的生效;2021.08.20#公开

摘要:窄带化模块也可以具有:棱镜,其包含光入射的入射侧面、光出射的出射侧面、入射侧面和底面,对从入射侧面入射的光进行波长分散,而使光从出射侧面出射;保持架部,其以固定面固定棱镜的底面;旋转机构部,其固定保持架部,并包含旋转台,该旋转台使棱镜以与从棱镜出射的光的分散平面垂直的轴为中心旋转;驱动部,其使旋转台旋转;以及光栅,其使从棱镜出射的光反射,棱镜的重心、保持架部的重心和旋转台的重心位于轴上。

主权项:1.一种窄带化模块,其中,该窄带化模块具有:棱镜,其包含三角形的底面、光入射的入射侧面和光出射的出射侧面,对从所述入射侧面入射的光进行波长分散,而使光从所述出射侧面出射;保持架部,其以三角形的固定面固定所述棱镜的所述底面;旋转机构部,其固定所述保持架部,并包含旋转台,该旋转台使所述棱镜以与从所述棱镜出射的光的分散平面垂直的轴为中心旋转;驱动部,其使所述旋转台旋转,并包含压电体;以及光栅,其使从所述棱镜出射的光反射,所述棱镜的所述底面的各个顶点不与所述保持架部的所述固定面重叠,所述保持架部的所述固定面的各个顶点不与所述棱镜的所述底面重叠,所述棱镜的重心、所述保持架部的重心和所述旋转台的重心位于所述轴上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 极光先进雷射株式会社 窄带化模块、气体激光装置和电子器件的制造方法

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