申请/专利权人：上海图双精密装备有限公司

申请日：2023-08-02

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN116931393B

主分类号：G03F9/00

分类号：G03F9/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2023.11.10#实质审查的生效;2023.10.24#公开

摘要：本发明涉及光刻设备领域，公开了一种光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法、装置、设备及存储介质。该方法包括：晶圆设置标记点，视场中心对准标记点；晶圆移动时，获取晶圆的移动量△Z；标记点在视场中的位置发生了偏移，计算得到标记点在视场的位移量s；计算运动台偏角α，完成对准运动台Z轴平行度调校。本发明采用被校模块本身作为测校模块，通过控制对准运动台模块和对准相机模块作为测校模块，通过机器视觉算法对标记位移和方向判别可计算出运动台Z轴和对准相机光轴的偏转角度和方向，对于运动台Z轴的校准精度可达1.15μrad，对准相机光轴校准精度可达约575μrad。

主权项：1.一种光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法，其特征在于，所述校准方法包括：晶圆设置标记点，视场中心对准标记点；晶圆移动时，获取晶圆的移动量△Z；对准运动台位移量△L；标记点在视场中的位置发生了偏移，计算得到标记点在视场的位移量s；采用以下公式计算运动台偏角α，完成对准运动台Z轴平行度调校： 对在将对准运动台Z轴平行度调校完成后，选择对准相机最大焦深的下极限进行对标记点成像，使得标记点位于视场中心；保持对准相机动作不变，移动对准运动台，使得标记成像在相机的焦深上极限，获取对准运动台高度变化量△h；标记点在视场中的位置发生了偏移，计算得到标记点在视场的位移量s’；采用以下公式计算对准相机光轴偏角β，完成校准： 所述校准方法还包括实时校准步骤：配置相机视觉系统，获取视场的图像数据，所述图像数据中包含晶圆和标记点；连接对准运动台和晶圆的实时运动传感器，得到对准运动台和晶圆位移数据；对获取的图像数据进行特征识别，得到晶圆和标记点在图像中的位置，并确定标记点在视场中的初始位置坐标；通过不断获取图像数据和实时运动数据，计算标记点在视场中的位移量；实时更新标记点的位置坐标；利用标记点在视场中的位移量，计算出标记点在图像中的位移量，并根据标记点在视场的实时矢量方向，计算对准运动台需要调整的方向和角度数据；根据计算得到的方向和角度数据，对对准运动台进行实时调整；调整后，重新获取图像数据和实时运动数据，继续循环进行计算和调整，直至达到所需的精度要求，完成对准。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海图双精密装备有限公司 光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法、装置、设备及存储介质

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