申请/专利权人：日立安斯泰莫株式会社

申请日：2020-01-23

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN113597538B

主分类号：G01F1/684

分类号：G01F1/684

优先权：["20190329 JP 2019-068755"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2021.11.19#实质审查的生效;2021.11.02#公开

摘要：本发明提供一种相较于以往而言能够提高流量检测部的噪声性能的物理量检测装置。本发明的物理量检测装置20具备板状的芯片封装件208，所述板状的芯片封装件208从被测量气体的流路突出配置，具有沿着该被测量气体的流动方向的宽度W。该芯片封装件208具有流量检测部205、增速流路208c、测量面208a、非测量面208b以及隔流部208d。增速流路208c的截面积缩窄，配置有流量检测部205。隔流部208d将第2副通道234b分隔为面对测量面208a的测量流路和面对非测量面208b的非测量流路。在芯片封装件208的宽度方向Dw上，增速流路208c的端部208ce与隔流部208d的端部208de隔离开来。

主权项：1.一种物理量检测装置，其具备板状的芯片封装件，所述板状的芯片封装件从被测量气体的流路的壁面突出配置，具有沿着该被测量气体的流动方向的宽度，该物理量检测装置的特征在于，所述芯片封装件具有：流量检测部；增速流路，其相较于所述流路而言截面积缩窄，配置有所述流量检测部；测量面，其设置有该增速流路；非测量面，其与该测量面为相反侧；以及隔流部，其将所述流路分隔为面对所述测量面的测量流路和面对所述非测量面的非测量流路；在所述芯片封装件的宽度方向上，所述增速流路的端部与所述隔流部的端部隔离开来，在所述宽度方向上，所述增速流路的一方的所述端部与所述隔流部的一方的所述端部隔离开来，所述增速流路的另一方的端部与所述隔流部的另一方的端部一致。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日立安斯泰莫株式会社 物理量检测装置

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