申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2019-02-13

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN111727496B

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;G01R31/26

优先权：["20180226 JP 2018-032363"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2020.10.27#实质审查的生效;2020.09.29#公开

摘要：一种检查装置，其能够对被检查体进行高温检查及低温检查，所述检查装置包括：检查室，进行所述被检查体的检查；干空气供给部，经由第一阀与所述检查室连接，并向所述检查室内供给干空气；露点计，经由第二阀与所述检查室连接，并对所述检查室内的露点进行测定；以及旁通配管，经由第三阀将所述干空气供给部与所述露点计连接。

主权项：1.一种检查装置，其能够对被检查体进行高温检查及低温检查，所述检查装置包括：检查室，进行所述被检查体的检查；干空气供给部，经由第一阀与所述检查室连接，并向所述检查室内供给干空气；露点计，经由第二阀与所述检查室连接，并对所述检查室内的露点进行测定；旁通配管，经由第三阀将所述干空气供给部与所述露点计连接；以及控制装置，根据在所述检查室中对所述被检查体进行的检查的种类，对所述第一阀、所述第二阀及所述第三阀的开闭动作进行控制。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 检查装置及检查装置的动作方法

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