申请/专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司

申请日：2023-08-09

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220625668U

主分类号：G01M3/28

分类号：G01M3/28;C23C16/52

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本申请公开一种密封检测装置及气相沉积设备，包括压力检测装置、密封腔体和气体控制装置，压力检测装置设置于密封腔体的内部，气体控制装置设置于密封腔体的外侧；气体控制装置包括第一管道、第二管道和设置于第一管道上的第一阀门，第一管道的第一端连接腔体的第一端，第一管道的第二端可拆卸连接供气装置；第二管道的第一端连接密封腔体的第二端，第二管道的第二端可拆卸连接待测装置。本申请的密封检测装置通过压力检测装置检测通气后的待测装置的内部空间的压力是否变化以判断维修保养后的气体传输管道的密封性能，并根据判断结果采取相应的措施以保证气体传输管道的密封性能。本申请的气相沉积设备包括所述密封检测装置。

主权项：1.一种密封检测装置，其特征在于，包括压力检测装置、密封腔体和气体控制装置，所述压力检测装置设置于所述密封腔体的内部，所述气体控制装置设置于所述密封腔体的外侧；所述气体控制装置包括第一管道、第二管道和设置于所述第一管道上的第一阀门，所述第一管道的第一端连接所述密封腔体的第一端，所述第一管道的第二端可拆卸连接供气装置；所述第二管道的第一端连接所述密封腔体的第二端，所述第二管道的第二端可拆卸连接待测装置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 粤芯半导体技术股份有限公司 一种密封检测装置及气相沉积设备

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