申请/专利权人：嵊州市西格玛科技有限公司

申请日：2023-08-08

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220627761U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种碳化钽涂层石墨承载盘，石墨承载盘包括上盘体和下盘体，所述上盘体的内部开设有承载槽，所述下盘体的顶部固定连接有导柱，所述上盘体的内部开设有导孔，上盘体的内部活动连接有螺纹柱，螺纹柱上固定连接有挡板。本实用新型的优点在于：通过设置上盘体和下盘体组成的石墨承载盘，下盘体设置定位槽用于晶圆的初步定位，待晶圆放置在定位槽中后，再将通过螺纹柱将上盘体和下盘体固定在一起，使得该石墨承载盘对晶圆的固定效果好，且拆卸上盘体后，可方便快捷的批量拿取晶圆，该装置的设置不仅方便工作人员方便快捷的批量取放晶圆，还通过阶梯状的承载槽方便对晶圆进行固定，提高晶圆放置时的稳定性。

主权项：1.一种碳化钽涂层石墨承载盘，其特征在于：石墨承载盘包括上盘体1和下盘体2，所述上盘体1的内部开设有承载槽3，所述下盘体2的顶部固定连接有导柱4，所述上盘体1的内部开设有导孔5，所述上盘体1的内部活动连接有螺纹柱6，所述螺纹柱6上固定连接有挡板7，所述螺纹柱6顶部固定连接有旋钮8，所述下盘体2的内部开设有与螺纹柱6相适配的螺纹孔9，下盘体2上设置有定位槽10。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 嵊州市西格玛科技有限公司 一种碳化钽涂层石墨承载盘

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