申请/专利权人：天津中科晶禾电子科技有限责任公司

申请日：2023-08-15

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220627774U

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型属于晶圆夹持传输技术领域，公开了一种晶圆夹持机构。该晶圆夹持机构包括支座、气管接头、活塞杆、预紧力调节件和弹性件，支座上设有多个沿周向均匀分布的空腔和多个与空腔一一对应的气体管道，空腔的腔口安装有固定块，固定块设有用于使空腔和外界连通的通道；气管接头设于支座的中心处，气管接头设有多个管口；活塞杆设有多个，活塞杆滑动穿设于固定块上，活塞杆位于空腔内的一端设有推板，活塞杆的另一端安装有夹爪；预紧力调节件滑动套设于活塞杆并螺接于固定块上。弹性件套设于活塞杆上，弹性件的一端抵接于推板，弹性件的另一端抵接于预紧力调节件。本实用新型提供的晶圆夹持机构，结构简单，夹持稳固。

主权项：1.晶圆夹持机构，其特征在于，包括：支座100，设有多个沿周向均匀分布的空腔120和多个与所述空腔120一一对应的气体管道110，所述空腔120的腔口安装有固定块200，所述固定块200设有用于使所述空腔120和外界连通的通道；气管接头300，设于所述支座100的中心处，所述气管接头300设有多个管口，多个所述管口与多个所述气体管道110一一对应连通；活塞杆400，设有多个，多个所述活塞杆400与所述固定块200一一对应，所述活塞杆400滑动穿设于所述固定块200上，所述活塞杆400位于所述空腔120内的一端设有推板500，所述推板500与所述空腔120的腔壁密封滑动接触，所述活塞杆400的另一端安装有夹爪600；预紧力调节件700，滑动套设于所述活塞杆400并螺接于所述固定块200上；弹性件800，套设于所述活塞杆400上，所述弹性件800的一端抵接于所述推板500，所述弹性件800的另一端抵接于所述预紧力调节件700。

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