申请/专利权人：源卓微纳科技(苏州)股份有限公司

申请日：2023-06-29

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220626852U

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;B01D46/58;G05D27/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：一种温湿度控制系统，其包括空调设备、水冷设备，所述温湿度控制系统还包括气体过滤设备，所述空调设备和所述水冷设备与外部供水系统连通，所述空调设备与所述气体过滤设备连通，所述温湿度控制系统调控直写式光刻设备的内部温湿度，所述直写式光刻设备包括外壳、基座、龙门架、光源机构、曝光镜头、运动平台和支撑架，所述基座承载所述运动机构，所述曝光镜头安装于所述龙门架，所述支撑架对应曝光镜头区域和所述运动平台运动区域设置至少两个封闭空间，所述空调设备通过管路与封闭空间分别连通，所述封闭空间下方设置有气体过滤设备，保证设备内部的洁净度。

主权项：1.一种温湿度控制系统，其包括空调设备、水冷设备，其特征在于：所述温湿度控制系统还包括气体过滤设备，所述空调设备和所述水冷设备与外部供水系统连通，所述空调设备与所述气体过滤设备连通，所述温湿度控制系统调控直写式光刻设备的内部温湿度，所述直写式光刻设备包括外壳、基座、龙门架、光源机构、曝光镜头、运动平台和支撑架，所述基座承载所述运动平台，所述曝光镜头安装于所述龙门架，所述支撑架对应曝光镜头区域和所述运动平台的运动区域设置至少两个封闭空间，所述空调设备通过管路与封闭空间分别连通，所述封闭空间下方设置有气体过滤设备。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 源卓微纳科技(苏州)股份有限公司 一种温湿度控制系统

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