申请/专利权人：辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司

申请日：2024-02-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117733720A

主分类号：B24B29/02

分类号：B24B29/02;B24B41/06;B24B41/00;B24B55/06;B24B1/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明属于抛光设备技术领域，具体为一种抛光石英舟端片的装置及其方法；包括支撑圆柱，若干所述支撑圆柱共同连接底板，底板上设有多轴位移模块，多轴位移模块上设有抛光轮，抛光轮与多角卡锁机构配合连接设置；所述多角卡锁机构包括设置于底板上的连接柱体，连接柱体上安装有锁位侧板，锁位侧板的轴承上设有锁位转轴，锁位转轴穿过联动方块与锁位圆块连接设置，锁位圆块上设置有移位止动单元；所述联动方块上设有的若干第一转杆通过联动异杆与锁位滑块上的第二转杆连接设置；通过提缓消力组件，避免抛光时被夹持的石英片发生脱位的现象，同时能够避免石英片发生破裂、损坏的现象，从而提升了抛光的效果。

主权项：1.一种抛光石英舟端片的装置，其特征在于：包括支撑圆柱（1），若干所述支撑圆柱（1）共同连接底板（2），底板（2）上设有多轴位移模块（3），多轴位移模块（3）上设有抛光轮（4），抛光轮（4）与多角卡锁机构配合连接设置，多角卡锁机构用于将石英片固定设置；所述多角卡锁机构包括设置于底板（2）上的连接柱体（5），连接柱体（5）上安装有锁位侧板（6），锁位侧板（6）的轴承上设有锁位转轴（7），锁位转轴（7）穿过联动方块（8）与锁位圆块（9）连接设置，锁位圆块（9）上设置有移位止动单元，移位止动单元用于对多角卡锁机构限位设置；所述联动方块（8）上设有的若干第一转杆通过联动异杆（10）与锁位滑块（11）上的第二转杆连接设置；一个所述锁位滑块（11）上设有固联方座（12），固联方座（12）上设置有提缓消力组件；所述提缓消力组件包括设置于固联方座（12）上的线缆（13），线缆（13）绕过辅助滑轮（14）与束线轮（15）连接设置；所述辅助滑轮（14）上安装有辅助转轴（16），辅助转轴（16）的一端与锁位侧板（6）上设有的辅助基座（17）连接设置，另一端与辅助圆盘（18）连接设置，辅助圆盘（18）上设置有复移循清单元；所述移位止动单元包括设置于联动方块（8）和锁位圆块（9）上的若干止动圆槽（48），止动圆槽（48）与止动圆杆（49）连接设置，若干止动圆杆（49）共同连接止动方板（50），止动方板（50）上对称设有定向块（51），定向块（51）上设有的定向杆（52）与锁位侧板（6）上安装有的定向基座（53）滑动连接设置；所述定向杆（52）上套设有定向弹簧（54），定向弹簧（54）的一端与定向块（51）连接设置，另一端与定向基座（53）连接设置。

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权利要求：

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