申请/专利权人：无锡沃尼克半导体科技有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117733879A

主分类号：B25J11/00

分类号：B25J11/00;B25J18/00;B25J19/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及陶瓷手臂技术领域，具体涉及一种漫反光传感真空陶瓷手臂及其制造工艺，包括以下步骤：S1：选用氧化铝为主材料，其纯度为98％以上，制造陶瓷手臂基体；S2：在手臂基体的内部预设计有直径为1‑2mm的通道，用于后续嵌入漫反光纤；S3：在漫反光纤的末端，安装光反射镜，以提高光信号的反射效率；S4：在手臂的内部开设微型通风系统，用于在真空吸附发生故障时快速释放内部空气；S5：对陶瓷手臂本体进行高温烧结处理；S6：接着对陶瓷手臂本体表面进行氮化处理；S7：使用标准的晶圆进行测试，确保光信号的传输和接收无误。本发明，实现了晶圆的实时监测和稳定传输，从而提高了生产效率，减少了成本损失。

主权项：1.一种漫反光传感真空陶瓷手臂，包括陶瓷手臂本体1，其特征在于，所述陶瓷手臂本体1一侧安装有光反射镜2，陶瓷手臂本体1另一侧预埋有漫反光纤3，陶瓷手臂本体1一侧上部开设有真空气道4。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡沃尼克半导体科技有限公司 一种漫反光传感真空陶瓷手臂及其制造工艺

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