申请/专利权人：重庆康佳光电科技有限公司

申请日：2022-09-14

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737655A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及一种镀锅、镀膜装置和镀锅调节系统。所述镀锅包括：镀锅主体，所述镀锅主体内设有蒸镀孔；晶片固定组件，设于所述蒸镀孔内，并与所述镀锅主体旋转连接，所述晶片固定组件用于承载并固定待蒸镀晶圆片；固定件，在所述固定件分别与所述镀锅主体、所述晶片固定组件连接时，使所述镀锅主体和所述晶片固定组件由旋转连接变为固定连接。上述镀锅的镀锅主体和晶片固定组件的相对角度可调节，从而可以调节待蒸镀晶圆片的蒸镀角度。

主权项：1.一种镀锅，其特征在于，包括：镀锅主体，所述镀锅主体内设有蒸镀孔；晶片固定组件，设于所述蒸镀孔内，并与所述镀锅主体旋转连接，所述晶片固定组件用于承载并固定待蒸镀晶圆片；固定件，用于在所述固定件分别与所述镀锅主体、所述晶片固定组件连接时，使所述镀锅主体和所述晶片固定组件由旋转连接变为固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 重庆康佳光电科技有限公司 镀锅、镀膜装置和镀锅调节系统

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