申请/专利权人：华陆工程科技有限责任公司

申请日：2023-11-30

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117735566A

主分类号：C01B33/32

分类号：C01B33/32;C04B35/584;C04B35/14;C03B20/00;C01B7/07;C01B21/46;C02F1/54;C02F101/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供一种废石英坩埚的高值化利用方法，包括以下步骤：1对废石英坩埚进行剥层处理，得到氮化硅粗品和坩埚本体；2对氮化硅粗品进行氮化硅‑酸液洗涤处理，得到氮化硅产品和氮化硅‑洗涤废液；3对坩埚本体进行坩埚‑酸液洗涤处理，得到净化坩埚和坩埚‑洗涤废液；4对氮化硅‑洗涤废液和坩埚‑洗涤废液进行净化处理，得到回收酸液，能够将废石英坩埚高值化利用，分离出净化后的坩埚本体，同时回收氮化硅作为副产品，提高了经济价值，并且废液得到净化，回收过程绿色环保。

主权项：1.一种废石英坩埚的高值化利用方法，其特征在于，包括以下步骤：1对废石英坩埚进行剥层处理，得到氮化硅粗品和坩埚本体；2对所述氮化硅粗品进行氮化硅-酸液洗涤处理，得到氮化硅产品和氮化硅-洗涤废液；3对所述坩埚本体进行坩埚-酸液洗涤处理，得到净化坩埚和坩埚-洗涤废液；4对所述氮化硅-洗涤废液和所述坩埚-洗涤废液进行净化处理，得到回收酸液。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华陆工程科技有限责任公司 一种废石英坩埚的高值化利用方法

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