申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

申请日：2023-12-01

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117741797A

主分类号：G01V8/10

分类号：G01V8/10

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及一种太赫兹近场成像装置、信号提取方法。近场成像装置包括：光源，用来产生照明光束；分束器，用来将光源发出的所述照明光束转化为第一参考光束和第一探测光束；参考光路，包括电光晶体和第一反射镜，所述参考光路通过调节所述电光晶体的主轴方向和外加电场来对所述第一参考光束进行相位调制生成调制参考光束；探测光路，用来引导所述第一探测光束激发显微镜探针针尖样品偶极子系统发生近场电磁相互作用，生成带有样品物理信息的近场散射探测光束；分析成像模块，用来对所述调制参考光束与所述近场散射探测光束形成的干涉光信号进行分析，获得被测样品的电磁图像。本发明能够实现太赫兹近场散射信号的高灵敏度和高信噪比获取。

主权项：1.一种太赫兹近场成像装置，其特征在于，包括：光源，用来产生作为照明光束的太赫兹激光；分束器，用来将光源发出的所述照明光束转化为第一参考光束和第一探测光束；参考光路，包括电光晶体，所述参考光路通过调节所述电光晶体的主轴方向和外加电场来对所述第一参考光束进行相位调制生成调制参考光束；探测光路，用来引导所述第一探测光束激发显微镜探针针尖样品偶极子系统发生近场电磁相互作用，生成带有样品物理信息的近场散射探测光束；分析成像模块，用来对所述调制参考光束与所述近场散射探测光束形成的干涉光信号进行分析，获得被测样品的电磁图像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种太赫兹近场成像装置、信号提取方法

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