申请/专利权人：齐鲁工业大学(山东省科学院)

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737671A

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C23C14/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种抗杂质气体毒害的钯基复合膜表面TiNx保护层及其制备方法和应用，属于氢气纯化技术领域。所述抗杂质气体毒害的钯基复合膜表面TiNx保护层由Ti靶在含氮气体环境中进行磁控溅射而得。本发明提供的钯基复合膜表面TiNx保护层制备过程简单，在应用于含有CO或H2S与H2的混合气体分离过程中，100h的氢气渗透速率没有发生明显变化，具有良好的化学稳定性，同时具有高选择性。

主权项：1.一种抗杂质气体毒害的钯基复合膜表面TiNx保护层，其特征在于，所述钯基复合膜表面TiNx保护层由Ti靶在含氮气体环境中进行磁控溅射而得，Ti、N原子比为1:0.2-1。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 齐鲁工业大学(山东省科学院) 一种抗杂质气体毒害的钯基复合膜表面TiN_x保护层及其制备方法和应用

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