申请/专利权人：宁波江丰钨钼材料有限公司

申请日：2024-02-02

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737667A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;B22F1/00;B22F3/04;B22F3/15;B22F3/24;B22F3/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供了一种钼铌靶材及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：将钼粉与铌粉混合后，依次进行冷等静压、包套、脱气、热等静压、解包套、分段轧制、退火和校平。本发明提供的制备方法可制备大尺寸规格的钼铌靶材，靶材尺寸大的同时成形性好，成品率高；并能实现晶粒尺寸的控制，满足不同的溅射要求。

主权项：1.一种钼铌靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：将钼粉与铌粉混合后，依次进行冷等静压、包套、脱气、热等静压、解包套、分段轧制、退火和校平。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波江丰钨钼材料有限公司 一种钼铌靶材及其制备方法

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