申请/专利权人:甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司
申请日:2024-01-31
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117737828A
主分类号:C30B15/00
分类号:C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开
摘要:本申请公开了一种换热装置、循环系统及其循环方法,涉及单晶硅生产制造技术领域。所述换热装置包括壳体和换热单元,所述壳体具有第一容腔,所述换热单元包括第一换热部和第二换热部,所述第一换热部和所述第二换热部均设置在所述第一容腔中,所述第一换热部与所述第二换热部对称设置。本申请能够使单晶炉内换热效果更加均匀,防止在生长单晶过程中造成单晶硅棒不均匀的缺陷,有利于单晶硅棒无缺陷生长,进一步提高了单晶硅棒的生产质量。
主权项:1.一种换热装置,其特征在于,包括:壳体,所述壳体具有第一容腔;换热单元,所述换热单元包括第一换热部和第二换热部,所述第一换热部和所述第二换热部均设置在所述第一容腔中,所述第一换热部与所述第二换热部对称设置。
全文数据:
权利要求:
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