申请/专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

申请日：2023-11-23

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747519A

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01L21/687;H01L21/677;H01L21/66

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了硅片人工检查的中转载台及快检方法，包括透明放置箱，所述透明放置箱的内腔底部中间转动设置有中转轴，本发明涉及中转载台技术领域。该硅片人工检查的中转载台及快检方法，通过第一齿轮、第一限位夹板组件、第二限位夹板组件以及齿盘之间的配合，当硅片转动到前方，调节第二限位夹板组件就能翻转硅片，无需用手触摸硅片进行翻动，实现对硅片的多个角度翻转，对硅片的正面和背面进行反复观察，同时能避免硅片造成污染和划伤，通过中转轴、承载台、硅片限位机构以及齿盘之间的相互配合，能使硅片进行公转的同时还能进行自转，可以从多个角度对硅片的正面和背面进行反复观察，操作方便，提高了人工检查的效率。

主权项：1.硅片人工检查的中转载台，包括透明放置箱1，其特征在于：所述透明放置箱1的内腔底部中间转动设置有中转轴2，所述中转轴2的顶部固定设置有承载台3，所述透明放置箱1的底部固定设置有伺服电机4，所述承载台3的顶部外侧一圈均匀设置有若干用于夹持待检查硅片的硅片限位机构5，所述透明放置箱1的内腔顶部中间固定设置有衔接竖轴6，所述衔接竖轴6的底部固定设置有齿盘7，所述透明放置箱1的前端通过铰链设置有透明密封门9；所述硅片限位机构5包括支杆轴51，所述支杆轴51底部转动连接在承载台3的顶部，所述支杆轴51的外部固定套设有第一齿轮52，所述支杆轴51的顶部固定设置有顶板53，所述顶板53的顶部两侧均固定设置有侧板54，其中一个所述侧板54的上部贯穿有第一限位夹板组件55，另一个所述侧板54的上部贯穿有第二限位夹板组件56，所述第一限位夹板组件55与第二限位夹板组件56之间设置有硅片57。

全文数据：

权利要求：

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