申请/专利权人：青岛高测科技股份有限公司

申请日：2023-08-25

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220784472U

主分类号：B28D5/04

分类号：B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种载料夹持装置、旋转载料台及晶棒加工系统，包括垫板和压板，垫板和压板沿竖直方向上下对置设置，以夹持在晶棒轴向方向的两端面，使晶棒呈竖直状态，垫板和或压板的有效夹持面小于晶棒端面，以预留从晶棒轴向端面取放晶棒时的承接空间。本实用新型提供的载料夹持装置既能满足从晶棒侧向取放晶棒，又能满足从晶棒轴向端面取放晶棒，以适应不同晶棒夹持装置的夹持需求。

主权项：1.一种载料夹持装置，其特征在于，包括垫板和压板，垫板和压板沿竖直方向上下对置设置，以夹持在晶棒轴向方向的两端面，使晶棒呈竖直状态，垫板和或压板的有效夹持面小于晶棒端面，以预留从晶棒轴向端面取放晶棒时的承接空间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛高测科技股份有限公司 载料夹持装置、旋转载料台及晶棒加工系统

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