申请/专利权人:青岛高测科技股份有限公司
申请日:2023-08-25
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN220763123U
主分类号:B28D5/04
分类号:B28D5/04;C30B29/06;C30B33/00;B28D1/22;B28D7/00;B28D7/04
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.12#授权
摘要:本实用新型公开了一种旋转载料台电气单元、旋转载料台及晶棒加工系统,用于为旋转载料台上的旋转载料单元提供能源动力,旋转载料单元可在旋转载料台上转动,其中,该旋转载料台电气单元包括电气固定部和电气转动部,电气固定部与外部能源输入设备连接,电气转动部固定设置在旋转载料单元上,可随旋转载料单元一起转动,电气固定部通过滑环组件和电气转动部连接,电气转动部通过电气线路与旋转载料单元内的电气设备连接,以为旋转载料单元内的电气设备提供能源动力。本实用新型在不间断为旋转载料单元的电气设备提供能源动力的同时,也避免了旋转载料单元内的线路缠绕问题。
主权项:1.一种旋转载料台电气单元,用于为旋转载料台上的旋转载料单元提供能源动力,旋转载料单元可在旋转载料台上转动,其特征在于,包括电气固定部和电气转动部,电气固定部与外部能源输入设备连接,电气转动部固定设置在旋转载料单元上,可随旋转载料单元一起转动,电气固定部通过滑环组件和电气转动部连接,电气转动部通过电气线路与旋转载料单元内的电气设备连接,以为旋转载料单元内的电气设备提供能源动力。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 青岛高测科技股份有限公司 旋转载料台电气单元、旋转载料台及晶棒加工系统
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