申请/专利权人:青岛高测科技股份有限公司
申请日:2023-08-25
公开(公告)日:2024-04-16
公开(公告)号:CN220784477U
主分类号:B28D7/00
分类号:B28D7/00;C30B29/06;C30B33/00;B28D5/04
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.16#授权
摘要:本实用新型公开了一种旋转载料台接水单元、旋转载料台及晶棒加工系统,包括接水盘,接水盘设置在旋转载料台的旋转载料单元下方,接水盘下方设置有旋转驱动单元,接水盘用于承接旋转载料单元上流下的水渍。本实用新型避免水渍溅射到旋转驱动单元上,有效避免了旋转载料单元上流下的水渍对旋转驱动单元造成影响,提高了系统运行的稳定性,同时避免了水流汇聚在地面造成的安全隐患。
主权项:1.一种旋转载料台接水单元,其特征在于,包括接水盘,接水盘设置在旋转载料台的旋转载料单元下方,接水盘下方设置有旋转驱动单元,接水盘用于承接旋转载料单元上流下的水渍。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 青岛高测科技股份有限公司 旋转载料台接水单元、旋转载料台及晶棒加工系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。