申请/专利权人：江苏锐虎机械科技有限公司

申请日：2023-12-22

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737679A

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜设备，包括真空镀膜机本体，还包括引弧装置，引弧装置设置在真空腔内，引弧装置为多个；转动轴，转动轴转动设置在引弧装置上，此真空镀膜设备，在使用时，先将挂架挂上待镀膜的工件，再运送到真空镀膜机本体前，接着将挂架拿起对准Y形轨道，使得连接杆与Y形轨道对接，完成后，推动挂架，使得连接杆带动推杆位移，推杆位移带动齿条移动，进一步带动第一转动齿轮转动，同步带动第二转动齿轮转动，进而驱动齿圈和转动板转动，带动转动槽内的固定座与Y形轨道对齐，同时连接杆在压缩弹簧的弹力作用下与卡接槽啮合，完成对挂架的固定。

主权项：1.一种真空镀膜腔，包括真空腔2，其特征在于，还包括降温腔，所述降温腔环绕设置在所述真空腔2的周侧与顶侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏锐虎机械科技有限公司 一种真空镀膜腔及包括该腔体的真空镀膜设备

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