申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司

申请日：2018-06-05

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747506A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687

优先权：["20170808 US 62/542,468","20171127 US 15/822,865"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明的实施例涉及一种对EFEM自动重新编程以解决EFEM机器人的位置变化的方法。在一些实施例中，通过确定EFEM室内的EFEM机器人的初始位置来实施该方法。初始位置处的EFEM机器人沿着第一多个步进进行移动，其中，第一多个步进相对于初始位置被限定并且沿着第一位置和第二位置之间的路径延伸。确定位置参数，其中，位置参数描述EFEM机器人的初始位置和与初始位置不同的新位置之间的变化。基于位置参数确定第二多个步进。新位置处的EFEM机器人沿着第二多个步进进行移动，其中，第二多个步进相对于新位置被限定并且沿着第一位置和第二位置之间的路径延伸。本发明的实施例还涉及一种设备前端模块EFEM自动教学元件。

主权项：1.一种设备前端模块EFEM自动教学元件，包括：位置测量单元，配置为确定设备前端模块机器人在设备前端模块室内的初始位置和所述设备前端模块机器人在所述设备前端模块室内的与所述初始位置不同的新位置；以及处理元件，配置为确定描述所述初始位置和所述新位置之间的差值的位置参数，配置为使所述机械臂所具有的衬底接纳元件沿着第一多个步进进行移动，并且还由所述位置参数确定第二多个步进，其中，所述第一多个步进相对于所述初始位置固定并且沿着第一位置和第二位置之间的路径延伸，所述第二多个步进使所述设备前端模块机器人的机械臂在所述设备前端模块室内移动，以使所述机械臂所具有的所述衬底接纳元件沿着在所述第一位置和所述第二位置之间延伸的所述路径进行移动，其中，所述设备前端模块室的固定参考点作为位置坐标原点，所述初始位置和所述新位置的坐标是所述设备前端模块机器人的同一组件相对于所述固定参考点的坐标，其中，所述第一多个步进通过第一多个距离与所述初始位置分隔，并且包括第一多个步进位置；其中，所述第二多个步进通过与第二多个距离与所述新位置分隔，并且包括第二多个步进位置，其中，所述第一多个距离与所述第二多个距离不同，并且所述第一多个步进位置与所述第二多个步进位置相同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 对EFEM机器人进行编程的方法及其自动教学元件

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