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【发明公布】一种基于激光剪切散斑干涉的缺陷检测方法及系统_复旦大学_202410138923.7 

申请/专利权人:复旦大学

申请日:2024-02-01

公开(公告)日:2024-03-22

公开(公告)号:CN117740810A

主分类号:G01N21/88

分类号:G01N21/88;G01N21/01

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要:本发明提出的是一种基于激光剪切散斑干涉的缺陷检测方法,该方法包括:1、利用相干光源被待测样品散射形成加载前散射光;2、形成加载前剪切散斑干涉图像;3、获取加载前剪切散斑干涉图像的相位分布图;4、对样品台上的待测样品进行压力加载,形成加载后散射光;5、形成加载后剪切散斑干涉图像;6、获取加载后剪切散斑干涉图像的相位分布图;7、得到相位差图;8、通过相位差图、位移导数、缺陷三者之间建立的联系,得到缺陷在待测样品上的位置分布信息;一种基于激光剪切散斑干涉的缺陷无损检测系统包括激光光源单元,位移平台,光路单元,CCD相机,光学平板单元6;本发明能够对复合材料进行缺陷位置检测。

主权项:1.一种基于激光剪切散斑干涉的缺陷检测方法,其特征是包括:1、将待测样品放置在样品台上,利用激光器发出的相干光源将待测样品覆盖,相干光源被待测样品散射形成加载前散射光;2、将加载前散射光经过剪切散斑干涉成像单元形成加载前剪切散斑干涉图像;3、获取加载前剪切散斑干涉图像的相位分布图;4、对样品台上的待测样品进行压力加载,使待测样品产生一定的加载形变,激光器发出的相干光源被加载形变后的待测样品散射形成加载后散射光;5、将加载后散射光经过剪切散斑干涉成像单元形成加载后剪切散斑干涉图像;6、获取加载后剪切散斑干涉图像的相位分布图;7、将加载前剪切散斑干涉图像的相位分布图与加载后剪切散斑干涉图像的相位分布图作差得到相位差图;8、通过相位差图、位移导数、缺陷三者之间建立的联系,得到缺陷在待测样品上的位置分布信息。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 复旦大学 一种基于激光剪切散斑干涉的缺陷检测方法及系统

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