申请/专利权人：深圳无限光能技术有限公司

申请日：2024-02-20

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737714A

主分类号：C23C18/12

分类号：C23C18/12;H10K30/40;H10K30/50

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及一种化学水浴制备二氧化锡薄膜的方法、二氧化锡薄膜及其用途，所述方法包括以下步骤：（1）混合尿素、巯基乙酸和硫酸亚锡，得到化学浴沉积溶液，所述化学浴沉积溶液中不额外添加酸；（2）将基底浸入步骤（1）得到的所述化学浴沉积溶液中进行浸泡，然后取出基底依次进行洗涤和退火，所述基底上得到沉积的二氧化锡薄膜。本发明提供的方法能够在更加温和可控的条件下进行二氧化锡薄膜的沉积，pH值保持相对恒定，能够实现颗粒的均匀生长，以及二氧化锡薄膜的全覆盖性和高致密性，制备过程重复性高，所用化学浴沉积溶液可重复利用。

主权项：1.一种化学水浴制备二氧化锡薄膜的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：（1）混合尿素、巯基乙酸和硫酸亚锡，得到化学浴沉积溶液，所述化学浴沉积溶液中不添加酸；（2）将基底浸入步骤（1）得到的所述化学浴沉积溶液中进行浸泡，然后取出基底依次进行洗涤和退火，所述基底上得到沉积的二氧化锡薄膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳无限光能技术有限公司 一种化学水浴制备二氧化锡薄膜的方法、二氧化锡薄膜及其用途

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