申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737851A

主分类号：C30B29/06

分类号：C30B29/06;C30B15/10;C30B15/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供了一种石英坩埚的形变校准装置及方法，涉及半导体制造技术领域。所述装置包括：至少一组探测组件；所述探测组件包括：显示模块、连接件以及挂件；所述连接件的第一端与所述显示模块连接，第二端与所述挂件连接，且所述连接件能够沿所述石英坩埚的切线方向摆动；所述挂件悬挂于所述石英坩埚上方，且至少部分伸入所述石英坩埚内；在所述石英坩埚发生形变触碰到所述挂件的情况下，所述显示模块的显示内容发生变化。本发明的石英坩埚的形变校准装置，能够解决现有技术中在晶棒的拉制过程中，石英坩埚向内侧倾斜，但拉晶处于密闭的环境进行，无法对石英坩埚是否发生形变进行监控的问题。

主权项：1.一种石英坩埚的形变校准装置，其特征在于，包括：至少一组探测组件；所述探测组件包括：显示模块、连接件以及挂件；所述连接件的第一端与所述显示模块连接，第二端与所述挂件连接，且所述连接件能够沿所述石英坩埚的切线方向摆动；所述挂件悬挂于所述石英坩埚上方，且至少部分伸入所述石英坩埚内；在所述石英坩埚发生形变触碰到所述挂件的情况下，所述显示模块的显示内容发生变化。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种石英坩埚的形变校准装置及方法

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