申请/专利权人:南京中科神光科技有限公司
申请日:2024-01-24
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117740164A
主分类号:G01J9/02
分类号:G01J9/02
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开
摘要:本发明公开了一种激光多波长测量装置及测量方法,测量装置包括用于对待测激光束进行滤波处理去除噪声的空间滤波器,用于对空间滤波器滤波处理后的激光束进行准直为平行光束的准直镜组,用于接收平行光束进行干涉处理形成干涉条纹的干涉腔,用于对干涉条纹进行色散处理的色散元件,以及用于将色散元件的色散光束聚焦至光电探测器的聚焦元件,通过光电探测器接收待测激光束聚焦后的图像并根据图像获取待测激光光束的波长成分;本发明对于激光波长的测量,基于干涉‑衍射相结合,能够对宽波段内多波长输入进行高精度测量。
主权项:1.一种激光多波长测量装置,其特征在于,包括用于对待测激光束进行滤波处理去除噪声的空间滤波器1,用于对空间滤波器1滤波处理后的激光束进行准直为平行光束的准直镜组2,用于接收平行光束进行干涉处理形成干涉条纹的干涉腔3,用于对干涉条纹进行色散处理的色散元件4,以及用于将色散元件4的色散光束聚焦至光电探测器5的聚焦元件6,通过光电探测器5接收待测激光束聚焦后的图像并根据图像获取待测激光光束的波长成分。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 南京中科神光科技有限公司 一种激光多波长测量装置及测量方法
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