申请/专利权人：武汉颐光科技有限公司

申请日：2023-12-13

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117889759A

主分类号：G01B11/06

分类号：G01B11/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明提供一种基于测量设备的波长校准与测量方法，包括：获取待测样件的全波段光强信息，处理获得每一个波长对应的实测傅里叶系数；根据每一个波长的实测傅里叶系数和理论傅里叶系数，拟合迭代出各个波长对应的第一系统参数、样件厚度和入射角；通过特定函数拟合迭代出全局样件厚度和全局入射角；固定全局样件厚度和全局入射角，再次拟合迭代出各个波长对应的第二系统参数；根据每一个波长对应的实测傅里叶系数和第二系统参数，计算待测样件的全波段光谱穆勒矩阵。本发明通过迭代拟合的方式得到全局样件厚度和全局入射角等不随波长改变的参数，再对其它的参数进行校准，相比现有的根据经验确定全局样件厚度和全局入射角，更为准确。

主权项：1.一种基于测量设备的波长校准与测量方法，其特征在于，包括：基于测量设备获取待测样件的全波段光强信息，并将每一个波长对应的光强信息进行傅里叶变换，得到每一个波长对应的实测傅里叶系数；根据每一个波长的实测傅里叶系数和待测样件的每一个波长的理论傅里叶系数，拟合迭代出各个波长对应的第一系统参数、样件厚度和入射角；根据拟合迭代出的每一个波长的样件厚度和入射角，通过特定函数拟合迭代出全局样件厚度和全局入射角；固定所述全局样件厚度和全局入射角，根据每一个波长的实测傅里叶系数和待测样件的每一个波长的理论傅里叶系数，拟合迭代出各个波长对应的第二系统参数；根据待测样件的每一个波长对应的实测傅里叶系数和各个波长对应的第二系统参数，计算待测样件的每一个波长的穆勒矩阵，得到待测样件的全波段光谱穆勒矩阵。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 武汉颐光科技有限公司 一种基于测量设备的波长校准与测量方法

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