申请/专利权人：上海诺睿科半导体设备有限公司

申请日：2024-02-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117743732A

主分类号：G06F17/11

分类号：G06F17/11;G06F17/14;G06F9/50

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开一种获取理论光谱的方法，其首先对样品的不同光特性参量进行傅里叶级数展开，并代入至麦克斯韦方程组中，然后通过多核中央处理器的运算组件计算每个波长点的反射、透射系数，其中运算组件包括多个并行的运算模块，每个运算模块一次计算一个波长点的反射、透射系数，最后根据所有波长点的反射、透射系数确定样品的理论光谱。该方法从物理意义的层面优化了严格耦合波分析的算法流程，将串行逻辑改为并行计算，使其能够同时求解多个波长区间，有效地提高而计算效率，缩短了计算时间。

主权项：1.一种获取理论光谱的方法，其特征在于，包括步骤：对样品的不同光特性参量进行傅里叶级数展开，并代入至麦克斯韦方程组中；通过多核中央处理器的运算组件计算每个波长点的反射、透射系数，其中所述运算组件包括多个并行的运算模块，每个运算模块一次计算一个波长点的反射、透射系数；以及根据所有波长点的反射、透射系数确定所述样品的理论光谱。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海诺睿科半导体设备有限公司 一种理论光谱的获取方法、电子装置及介质

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