申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747499A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;F26B9/06;F26B21/14;F26B25/22

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明属于基板干燥技术领域，具体公开了一种基板干燥装置以及基板清洗干燥设备。基板在干燥时，液膜厚度会变薄，通过膜厚计检测液膜厚度并反馈至控制终端，操作人员于控制终端处调节伸缩部的伸缩程度或控制终端自身调节伸缩部程度、以调整基板与导流板之间的间距，进而调节基板与导流板之间的超临界流体的流速，直至流速与液膜厚度变化前的流速一致，使得干燥的过程中液膜表面的层流效果保持一致，相比于现有方案，本结构的引流板靠近基板一侧移动时，会减少基板与引流板之间的间距，此时超临界流体于基板与引流板之间流动时会作用于基板，使得基板盖设并抵接于承载结构，避免基板出现摆动甚至翻转的现象，实现基板表面的液膜进行均匀干燥。

主权项：1.一种基板干燥装置，其特征在于，包括：外壳体11；承载结构，所述承载结构安装于外壳体11内部，所述承载结构顶部用于放置基板W；高度调节结构，所述高度调节结构包括伸缩部31，所述伸缩部31的伸缩方向竖向设置，所述伸缩部31的一端固定安装于所述外壳体11内部的顶部壁面，所述伸缩部31的另一端朝向远离顶部壁面的一侧延伸，所述伸缩部31与控制终端通讯连接；引流板4，所述引流板4安装于所述伸缩部31的另一端，并且所述引流板4位于承载结构的上方；膜厚计5，所述膜厚计5的检测端发射的检测信号朝向基板W表面一侧设置，并且检测端与控制终端通讯连接、用于将测得的液膜L厚度反馈至控制终端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京晶亦精微科技股份有限公司 一种基板干燥装置以及基板清洗干燥设备

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