申请/专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737824A

主分类号：C30B11/00

分类号：C30B11/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供一种原位退火装置，用于与生长装置配套使用，生长装置包括中空炉体，设有开放腔的热场，坩埚和籽晶杆，热场容置在中空炉体内用于在生长方向上提供梯度热源，坩埚容置在热场的开放腔内，籽晶杆用于提供冷源，籽晶杆与坩埚连接用以使坩埚沿生长方向运动以实现晶体生长，原位退火装置包括连接的基部和升降部，基部容置在开放腔用于选择性地支撑坩埚，升降部用于带动基部沿生长方向运动，籽晶杆与坩埚可拆连接，热场的内壁上设置有凸起件用以与基部抵接形成退火空间，其中当生长装置处于完成晶体生长状态时，升降部控制基部沿晶体生长的方向背向运动以使坩埚与籽晶杆脱离，直至基部与凸起件接触形成用于完成退火的退火空间。

主权项：1.一种原位退火装置，用于与生长装置配套使用，所述生长装置包括中空炉体，设有开放腔的热场，坩埚和籽晶杆，所述热场容置在所述中空炉体内用于在生长方向上提供梯度热源，所述坩埚容置在所述热场的开放腔内，所述籽晶杆用于提供冷源，所述籽晶杆与所述坩埚连接用以使所述坩埚沿所述生长方向运动以实现晶体生长，其特征在于，所述原位退火装置包括连接的基部和升降部，所述基部容置在所述开放腔用于选择性地支撑所述坩埚，所述升降部用于带动所述基部沿所述生长方向运动，所述籽晶杆与所述坩埚可拆连接，所述热场的内壁上设置有凸起件用以与所述基部抵接形成退火空间，其中当所述生长装置处于完成晶体生长状态时，所述升降部控制所述基部沿所述晶体生长的方向背向运动以使所述坩埚与所述籽晶杆脱离，直至所述基部与所述凸起件接触形成退火空间用于完成退火。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种原位退火装置，原位退火的控制方法和操作步骤

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