申请/专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117749121A

主分类号：H03H7/38

分类号：H03H7/38;H01J37/32

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请涉及一种射频网络匹配调节方法、装置及射频离子源系统，所述方法包括：依次对第一电容和第二电容进行快速调节，直至射频网络匹配器实时采集的第一阻抗值达到匹配范围值内；在匹配范围值内，以交叉调节方式并根据设定的步进值分别对第一电容和第二电容进行微调；在微调过程中，根据射频网络匹配器实时采集的第二阻抗值控制所述第一电容和第二电容的调节方向，以使得第二阻抗值向目标阻抗值靠近；当第二阻抗值达到目标阻抗值时，控制射频网络匹配器与负载端保持匹配平衡状态；该技术方案，提升了对射频网络匹配的调节速度，提升了射频功率源启动成功率，适应各种异常场景匹配，且匹配度高，可以确保输出的射频功率源更加稳定，效率更高。

主权项：1.一种射频网络匹配调节方法，其特征在于，包括：依次对第一电容和第二电容进行快速调节，直至射频网络匹配器实时采集的第一阻抗值达到匹配范围值内；在匹配范围值内，以交叉调节方式并根据设定的步进值分别对第一电容和第二电容进行微调；在微调过程中，根据射频网络匹配器实时采集的第二阻抗值控制所述第一电容和第二电容的调节方向，以使得所述第二阻抗值向目标阻抗值靠近；当所述第二阻抗值达到目标阻抗值时，控制射频网络匹配器与负载端保持匹配平衡状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 射频网络匹配调节方法、装置及射频离子源系统

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