申请/专利权人：芝浦机械电子装置株式会社

申请日：2020-07-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN112309933B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/67

优先权：["20190725 JP 2019-137160","20200629 JP 2020-112018"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.02.23#实质审查的生效;2021.02.02#公开

摘要：本发明提供一种可提高基板品质的基板搬送装置及基板处理装置。作为实施方式的基板搬送装置的搬送部30包括：多个搬送辊31A，搬送具有翘曲的基板W；以及多个按压辊31B，以分别与多个搬送辊31A相向而分离的方式设置，且对由多个搬送辊31A搬送的基板W进行按压，相向而分离的搬送辊31A及按压辊31B设为一组，且沿着基板W的搬送方向A1排列有多组，各组的搬送辊31A与按压辊31B的分离距离沿着基板W的搬送方向A1而变短。

主权项：1.一种基板搬送装置，其特征在于，包括：多个搬送辊，搬送具有翘曲的基板；以及多个按压辊，以分别与所述多个搬送辊相向而分离的方式设置，且对由所述多个搬送辊搬送的所述基板进行按压，所述搬送辊在与所述基板的搬送方向正交的方向上，在与所述基板的两端部对应的部位以及与中央部对应的部位分别设置有辊，相向而分离的所述搬送辊及所述按压辊设为一组，且沿着所述基板的搬送方向排列有多组，各组的所述搬送辊与所述按压辊的分离距离具有沿着所述基板的搬送方向而变短的部分，配置于与所述基板的搬送方向正交的方向的一对所述按压辊的距离具有沿着所述基板的搬送方向而变长的部分，所述基板呈矩形形状，且在与所述基板的搬送方向正交的方向上具有向所述搬送辊侧突起的翘曲。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芝浦机械电子装置株式会社 基板搬送装置及基板处理装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD