申请/专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

申请日：2021-12-16

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114277337B

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/56

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.04.22#实质审查的生效;2022.04.05#公开

摘要：本申请提供了一种蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法。其中，蒸镀装置，包括蒸镀腔，吸附组件，所述吸附组件用于吸附所述蒸镀腔中的粒子，所述吸附组件包括位于所述蒸镀腔内的第一部分和位于所述蒸镀腔外的第二部分；传送组件，所述传送组件上设置有所述第一部分和所述第二部分，当满足预设条件时，所述传送组件驱动所述第一部分移动至所述蒸镀腔外，并驱动所述第二部分移动至所述蒸镀腔内。本申请实施例通过传送组件自动更换吸附组件以使新的吸收组件吸收粒子，以防止粒子沉积到蒸镀腔中的防着板上，从而避免了在制备显示面板时基板上引入粒子的情况，解决了加热蒸发的方式导致基板上留有粒子的问题，进而提高有机显示器件的显示性能。

主权项：1.一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括蒸镀腔，其特征在于，包括:吸附组件，所述吸附组件用于吸附所述蒸镀腔中的粒子，所述吸附组件包括位于所述蒸镀腔内的第一部分和位于所述蒸镀腔外的第二部分；所述吸附组件包括第一吸附膜和第二吸附膜，所述第一吸附膜用于吸附所述蒸镀腔中的磁性粒子，所述第二吸附膜用于吸附所述蒸镀腔中的非磁性粒子，所述第二吸附膜包括ZSM-5分子筛；传送组件，所述传送组件上设置有所述第一部分和所述第二部分，当满足预设条件时，所述传送组件驱动所述第一部分移动至所述蒸镀腔外，并驱动所述第二部分移动至所述蒸镀腔内；所述传送组件包括滚轮和传送带，所述传送带上设置有多个所述吸附组件，所述滚轮滚动带动所述传送带运动，以将所述第一部分移动至所述蒸镀腔外，并驱动所述第二部分移动至所述蒸镀腔内；防着板，所述防着板设置在所述蒸镀腔中，所述第一吸附膜和所述第二吸附膜设置于所述防着板的一侧；质量感应器，所述质量感应器用于检测所述第一吸附膜吸附的磁性粒子的质量和所述第二吸附膜吸附非磁性粒子的质量；当所述磁性粒子的质量和所述非磁性粒子的质量之和大于阈值时，所述传送组件驱动所述第一部分移动至所述蒸镀腔外，并驱动所述第二部分移动至所述蒸镀腔内。

全文数据：

权利要求：

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