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【发明授权】一种变相位角多级罗茨真空泵及其工作方法_北京通嘉宏瑞科技有限公司_202310668293.X 

申请/专利权人:北京通嘉宏瑞科技有限公司

申请日:2023-06-07

公开(公告)日:2024-03-22

公开(公告)号:CN116517828B

主分类号:F04C18/12

分类号:F04C18/12;F04C25/02;F04C23/00;F04C29/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.22#授权;2023.08.18#实质审查的生效;2023.08.01#公开

摘要:本发明公开了一种变相位角多级罗茨真空泵及其工作方法。所述变相位角多级罗茨真空泵包括:泵壳、右转子1、左转子2,所述右转子1、左转子2分别绕各自的旋转轴沿相反方向旋转;所述右转子1、左转子2包括多级,其中右转子1的第一级转子7的重心与其一叶顶的连线和经过其转子重心的垂线重合的位置为其初始相位,第二级转子8初始相位相对于第一级转子7初始相位,顺着转子的旋转方向旋转角度β,第三级转子9初始相位旋转角度为2×β,依此类推。本发明采用被动流动控制技术,可在不增加结构复杂性的情况下,有效降低多级罗茨真空泵抽速波动的范围,提高泵的抽速,改善泵的运行稳定性。

主权项:1.一种变相位角多级罗茨真空泵,其特征在于,所述变相位角多级罗茨真空泵包括:泵壳、右转子(1)、左转子(2);所述泵壳包括上壳体(3)、下壳体(4),所述右转子(1)、左转子(2)分别绕各自的旋转轴沿相反方向旋转;所述右转子(1)、左转子(2)的旋转轴的轴线互相平行设置;所述右转子(1)、左转子(2)垂直于旋转轴线的剖面呈Y字三叶形轮廓;所述右转子(1)、左转子(2)在沿其旋转轴线方向上形成五级,包括第一级转子(7)、第二级转子(8)、第三级转子(9)、第四级转子(10)、第五级转子(11),上述第一级转子(7)、第二级转子(8)、第三级转子(9)、第四级转子(10)、第五级转子(11)延所述旋转轴线方向的轴向长度逐级递减,五级转子在所述旋转轴的轴线方向上间隔排列,所述泵壳包括与五级转子对应的五级工作腔,所述五级工作腔在所述旋转轴的轴线方向上间隔排列;所述右转子(1)、左转子(2)旋转时,每级的一个转子叶顶和该级相邻另一转子的叶顶与所述泵壳的内侧壁形成密封;所述五级转子在旋转方向的初始相位依次错开一个预设角度,其中,所述右转子(1)的第一级转子(7)的重心与第一级转子(7)一叶顶的连线和经过第一级转子(7)转子重心的垂线重合的位置为第一级转子(7)的初始相位;第二级转子(8)的重心与第二级转子(8)一叶顶的连线和经过第二级转子(8)重心的垂线相差角度为β的位置为第二级转子(8)的初始相位;第三级转子(9)的重心与第三级转子(9)一叶顶的连线和经过第三级转子(9)重心的垂线相差角度为2β的位置为第三级转子(9)的初始相位;第四级转子(10)的重心与第四级转子(10)一叶顶的连线和经过第四级转子(10)重心的垂线相差角度为3β的位置为第四级转子(10)的初始相位;第五级转子(11)的重心与第五级转子(11)一叶顶的连线和经过第五级转子(11)重心的垂线相差角度为4β的位置为第五级转子(11)的初始相位;所述变相位角多级罗茨真空泵的进口(5)位于第一级转子(7)的上方,泵的出口(6)位于第五级转子(11)的下方。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京通嘉宏瑞科技有限公司 一种变相位角多级罗茨真空泵及其工作方法

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