申请/专利权人：苏州赛腾精密电子股份有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117558676B

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;B25B11/00;G01N21/01;H01L21/66

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.13#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆的检测夹持设备，包括：承载基台，其上转动设有旋转主体；齿环，设于旋转主体上，齿环能够相对旋转主体转动；多个工作臂，设于旋转主体的顶部，多个工作臂在旋转主体的周向上间隔分布，且能够在旋转主体的径向上滑动；工作臂具有夹持晶圆时的夹持状态和脱离晶圆时松开状态；多个中间单元，设于齿环上，中间单元包括与工作臂联动的摆臂，齿环通过摆臂与工作臂联动；推压单元，设于承载基台上，且位于旋转主体的外周，推压单元包括能够在旋转主体的径向上做直线往复运动的推压块，推压块具有工作位置，当推压块位于工作位置且工作臂转动至推压单元时，推压块能够作用于摆臂以使摆臂带动工作臂朝向推压块运动。

主权项：1.一种晶圆的检测夹持设备，其特征在于，包括：承载基台（100），其上转动设有旋转主体（200），所述旋转主体（200）呈圆环状；齿环（300），设于所述旋转主体（200）上，且位于所述旋转主体（200）的外周，所述齿环（300）能够相对所述旋转主体（200）转动；多个工作臂（400），设于所述旋转主体（200）的顶部，多个所述工作臂（400）在所述旋转主体（200）的周向上间隔分布，且能够在所述旋转主体（200）的径向上滑动；所述工作臂（400）具有夹持晶圆时的夹持状态和脱离晶圆时松开状态；多个中间单元（500），设于所述齿环（300）上，且与多个所述工作臂（400）一一对应设置，所述中间单元（500）包括与所述工作臂（400）联动的摆臂（510），所述齿环（300）通过所述摆臂（510）与所述工作臂（400）联动；推压单元（600），设于所述承载基台（100）上，且位于所述旋转主体（200）的外周，所述推压单元（600）包括能够在所述旋转主体（200）的径向上做直线往复运动的推压块（610），所述推压块（610）具有工作位置，当所述推压块（610）位于工作位置且所述工作臂（400）转动至所述推压单元（600）时，所述推压块（610）能够作用于所述摆臂（510）以使所述摆臂（510）带动所述工作臂（400）朝向所述推压块（610）运动；其中，所述齿环（300）具有使得多个所述工作臂（400）处于夹持状态的第二转动位置，在所述齿环（300）处于第二转动位置时，所述推压块（610）响应于外部操作而运动至所述工作位置，以使转动至所述推压单元（600）处的所述工作臂（400）处于松开状态。

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