申请/专利权人：浙江工业大学

申请日：2022-06-30

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN115167572B

主分类号：G05D23/30

分类号：G05D23/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.10.28#实质审查的生效;2022.10.11#公开

摘要：本发明公开了一种集成式微温控器件及其制备方法。本发明包括底板、盖板和加热线圈。底板上开有形成制冷液流道的沟槽，制冷液流道包括入口、出口汇集流道和双曲线排列的多条分流流道。分流流道由多个特斯拉阀结构的微流道首尾连接构成，两端分别接入口、出口汇集流道，入口、出口汇集流道开口于底板两侧。盖板将沟槽顶面封闭，表面设置有加热线圈。首先在底板上按照设计刻蚀出沟槽，然后对底板和盖板进行表面活化，将底板和盖板键合，最后在盖板上溅射金属薄膜，刻出加热线圈。本发明减小了腔体结构或外界因素带来的紊流影响，提升了制冷效率，将制冷和加热进行了集成，可用于微小空间温度控制。本发明工艺重复性高、稳定性好，易于规模化生成。

主权项：1.一种集成式微温控器件，包括底板、盖板和加热线圈；其特征在于：所述的底板和盖板均为石英玻璃板或硅片，为尺寸相同的矩形，边的长度为20～200mm，厚度为1～3mm；底板上开有形成制冷液流道的沟槽，制冷液流道的深度为0.5～2mm；制冷液流道包括深度相同的入口汇集流道、出口汇集流道和多条分流流道，多条分流流道成对称的双曲线排列；所述的分流流道由多个特斯拉阀结构的微流道首尾连接构成，每条分流流道的制冷液流入端接入口汇集流道，制冷液流出端接出口汇集流道；入口汇集流道开口于底板的一侧，形成制冷液入口；出口汇集流道开口于底板的另一侧，形成制冷液出口；所述的盖板设置在底板开有沟槽的一面，盖板的一面将沟槽顶面封闭，形成制冷液流道，另一面设置有加热线圈；所述的加热线圈为蛇形或双螺旋形的金属线，金属线的两端为两个输入电极。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江工业大学 一种集成式微温控器件及其制备方法

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