申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2019-01-22

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN111670445B

主分类号：G06N5/01

分类号：G06N5/01;G03F7/20

优先权：["20180131 US 62/624,537","20180427 US 62/663,840"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：在过程步骤之前，基于与衬底相关联的预处理数据404来对待处理衬底402进行分割。使用分割规则410、412、414来对数据进行分割，并且根据通过分割而获得的数据的子集将衬底分割为子集G1‑G4。应用了针对每个子集特定的校正COR1‑COR4。使用对衬底的训练集502的决策树分析来获得分割规则图5。所述决策树分析使用在处理前与所述训练衬底相关联的预处理数据256、260，以及在经受所述过程步骤之后与训练衬底相关联的后处理数据262。基于后处理数据的子集的特性，从多个分割规则512中选择出限定所述决策树的分割规则506。同时隐含地获得相关联的校正508。

主权项：1.一种用于分割与经受制造过程的过程步骤的衬底相关联的数据的方法，所述方法包括：获得与经受所述过程步骤之前的衬底相关联的第一数据；获得与经受所述过程步骤之后的衬底相关联的第二数据；将多个分割规则应用于所述第一数据以获得所述第一数据的子集的多个配置；以及基于与所述第一数据的所述子集相关联的所述第二数据的子集的特性来选择所述分割规则。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 基于过程参数的衬底标记方法

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