申请/专利权人：东京应化工业株式会社

申请日：2021-11-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN116745699B

主分类号：G03F7/004

分类号：G03F7/004;G03F7/20;G03F7/039

优先权：["20201216 JP 2020-208263"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.09.29#实质审查的生效;2023.09.12#公开

摘要：一种抗蚀剂组合物，含有基材成分A、产酸剂成分B、可光降解的碱D0，可光降解的碱D0包含以通式d0‑1表示的化合物D01及以通式d0‑2表示的化合物D02。式中，Rd01为可具有取代基的链状或环状的脂肪族烃基。n01为1～10的整数。Rd02为具有氧原子＝O的环状的脂肪族烃基。m为1以上的整数，Mm+为m价的有机阳离子。

主权项：1.一种抗蚀剂组合物，通过曝光产生酸、并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，其特征在于，含有：基材成分A，对显影液的溶解性因酸的作用而变化；产酸剂成分B，通过曝光产生酸；可光降解的碱D0，控制通过曝光而从所述产酸剂成分B产生的酸的扩散，所述可光降解的碱D0包含以下述通式d0-1表示的化合物D01及以下述通式d0-2表示的化合物D02，【化1】 式d0-1中，Rd01为可具有取代基的链状或环状的脂肪族烃基，n01为1～10的整数，m为1以上的整数，Mm+为m价的有机阳离子，式d0-2中，Rd02为环状的脂肪族烃基，且构成该环状的脂肪族烃基的环骨架的亚甲基被羰基取代，m为1以上的整数，Mm+为m价的有机阳离子。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京应化工业株式会社 抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法

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