申请/专利权人：上海哥瑞利软件股份有限公司

申请日：2022-03-02

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114913119B

主分类号：G06T7/00

分类号：G06T7/00;G06V10/22;G06V10/25;G06V10/82;G06N3/0464

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.09.02#实质审查的生效;2022.08.16#公开

摘要：本发明公开了一种半导体晶圆检测工艺中的自动探针状态识别方法。它包括RPA服务器、KVM交换机、图像识别引擎和制造机台；在RPA服务器上增设与图像识别引擎连接的接口，RPA与图像识别引擎连接并进行数据交换；晶圆芯片pad置于测试机探针下方；RPA通过KVM获得制造机台拍摄到的产品图像，然后向图像识别引擎发送识别任务；图像识别引擎根据RPA获得的产品图像，通过图像自动识别算法对图像中的Pad位置、十字准星位置以及探针在Pad上的测试痕迹进行目标定位检测和类别识别，然后将识别结果返回给RPA；RPA获得识别结果后，根据提前设置的报警规则，决定是否向用户报警。本发明能有效提高生产流程的自动化水平。

主权项：1.一种半导体晶圆检测工艺中的自动探针状态识别方法，其特征在于，它包括设置RPA服务器、KVM交换机、图像识别引擎和制造机台；RPA服务器通过KVM交换机与制造机台连接并进行数据交换；RPA服务器上安装有RPA程序；在RPA服务器上增设与图像识别引擎即图像自动识别模块连接的接口；RPA服务器与图像识别引擎连接并进行数据交换；所述制造机台包括探针台、测试机；半导体晶圆置于探针台上，晶圆上的芯片的输入输出管脚pad位于测试机的探针正下方；RPA服务器通过KVM交换机获得制造机台拍摄到的产品照片信息即产品图像，然后向图像识别引擎发送识别任务；接到识别任务后，图像识别引擎根据RPA服务器获得的产品图像，通过人工智能算法即图像自动识别算法对图像中的Pad位置、十字准星即机台对针校准用的光标位置以及探针在Pad上的测试痕迹进行目标定位检测和类别识别，然后将识别结果信息返回给RPA服务器；RPA服务器获得识别结果之后，根据提前设置的报警规则，决定是否向用户产生报警信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海哥瑞利软件股份有限公司 一种半导体晶圆检测工艺中的自动探针状态识别方法

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