申请/专利权人：苏州博宏源机械制造有限公司

申请日：2024-01-04

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117506711B

主分类号：B24B37/10

分类号：B24B37/10;B24B37/34;B24B53/017

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2024.02.27#实质审查的生效;2024.02.06#公开

摘要：本申请公开了一种提高晶片平坦度的抛光设备及方法，涉及抛光技术领域包括：底座，其上固定设置有导杆支架，所述导杆支架上水平设置有多个互相平行的导杆，且所述导杆支架上设置有驱动元件；修整组件，滑动设置在所述导杆支架上，且所述修整组件由所述驱动元件进行控制驱动；抛光组件，相邻所述修整组件滑动设置在所述导杆支架上，且所述抛光组件下端按安装晶片；抛光盘组件，固定设置在所述底座上，且所述抛光盘组件位于所述修整组件和抛光组件延伸部分下方，所述抛光盘组件上固定加装抛光垫，其中抛光盘组件便于加工以及控制精度，整体支撑转接盘平稳运转，同时调节组件吸收振动进一步提高转接盘平稳程度，进而提高晶片抛光平坦度。

主权项：1.一种提高晶片平坦度的抛光设备，其特征在于：包括：底座（1）、导杆支架（2）、修整组件（3）、抛光组件（4）和抛光盘组件（5），所述底座（1）上固定设置有导杆支架（2），所述导杆支架（2）上水平设置有多个互相平行的导杆，且所述导杆支架（2）上设置有驱动元件；所述修整组件（3）和抛光组件（4）相邻滑动设置在所述导杆支架（2）上，且所述修整组件（3）和抛光组件（4）均由所述驱动元件进行控制驱动，所述抛光组件（4）下端安装晶片；所述抛光盘组件（5）固定设置在所述底座（1）上且位于所述修整组件（3）和抛光组件（4）延伸部分下方，所述抛光盘组件（5）上固定加装抛光垫；所述抛光盘组件（5）包括：固定座（51），固定设置在所述底座（1）上，且所述固定座（51）上设置有罩壳（52）；回转电机（53），固定设置在所述固定座（51）上，且所述回转电机（53）位于所述罩壳（52）内；转接盘（54），转动设置在所述固定座（51）上端面，所述转接盘（54）下方中心处同所述回转电机（53）输出端连接，且所述转接盘（54）上端面用于固定抛光垫；所述抛光盘组件（5）还包括内支撑环（55）、外支撑环（56）、内支架（57）、外支架（58）和调节组件（59），所述内支撑环（55）和外支撑环（56）同轴套接固定在所述固定座（51）上，且单个所述内支架（57）、外支架（58）和调节组件（59）为一组，在所述内支撑环（55）和外支撑环（56）之间均布设置有多组，所述转接盘（54）通过中转件同所述调节组件（59）连接；所述内支撑环（55）外环均布开设有多个卡接槽一（551），所述卡接槽一（551）用于固定安置所述内支架（57），所述外支撑环（56）内环对应所述卡接槽一（551）均布开设有相同数量的卡接槽二（561），所述卡接槽二（561）用于安置所述外支架（58）；所述调节组件（59）包括转动设置在所述内支架（57）和所述外支架（58）之间的支撑转轴（591），所述支撑转轴（591）倾斜设置且所述支撑转轴（591）上套接固定设置有支撑辊（592）；所述支撑辊（592）外圆周开设有环形的定位槽（593），且所述支撑辊（592）从两端面交错均布开设有多个内嵌槽（594），所述内嵌槽（594）内部填充减震材料。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州博宏源机械制造有限公司 一种提高晶片平坦度的抛光设备及方法

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