申请/专利权人：应用材料以色列公司

申请日：2018-07-13

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN116930384B

主分类号：G01N30/72

分类号：G01N30/72;H01L21/67

优先权：["20170718 US 15/653,299"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.11.10#实质审查的生效;2023.10.24#公开

摘要：一种用于监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器。所述清洁度监测器可包括质谱仪、分子聚集和释放单元、以及分析器。所述分子聚集和释放单元被配置为a在聚集时期期间聚集存在于所述真空腔室中的有机分子和b在释放时期期间朝向所述质谱仪诱导所述有机分子的子集的释放。所述质谱仪被配置为：监测所述真空腔室内的环境，和产生指示所述环境的内容物的检测信号；其中所述检测信号的第一子集指示所述有机分子的所述子集的存在。所述分析器被配置为基于所述检测信号来确定所述真空腔室的清洁度。

主权项：1.一种用于监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器，所述清洁度监测器包括：质谱仪，所述质谱仪与所述真空腔室处于一条视线上；分子聚集和释放单元，所述分子聚集和释放单元被配置为定位在所述真空腔室内并且被配置为a在聚集时期期间聚集存在于所述真空腔室中的有机分子和b在释放时期期间朝向所述质谱仪诱导所述有机分子的子集的释放；其中所述质谱仪被配置为监测所述真空腔室内的环境和产生指示所述环境的内容物的检测信号；其中所述检测信号的第一子集指示所述有机分子的所述子集的存在；和分析器，所述分析器被配置为基于所述检测信号来确定所述真空腔室的所述清洁度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料以色列公司 用于监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器和方法

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